نمایشگر پروفایل لیزری MSM
مشخصات کلیدی
مشخصات فنی
| نوع دستگاه | نمایشگر پروفایل لیزری (Beam Profiler) |
| سنسور تصویر | CCD |
| کاربرد اصلی | نظارت و کنترل پروفایل پرتو در ماشین‌کاری میکرو، فرآیندهای ساخت میکروالکترونیکی و ماشین‌کاری دقیق |
| محدوده توان لیزر | تا 200 وات میانگین |
| محدوده قطر فوکوس | 20 میکرومتر تا 1 میلی‌متر |
| کاربرد در فرآیند | اندازه‌گیری مستقیم در منطقه فرآیند |
| سیستم خنک‌کنندگی | هوایی (کاملاً خنک‌شونده با هوا) |
| محور اندازه‌گیری | محور z داخلی |
| سیستم کاهش شدت پرتو | آینه‌های تقسیم‌کننده پرتو، فیلترهای شیشه‌ای با چگالی خنثی |
| پارامترهای اندازه‌گیری | موقعیت پرتو، شعاع پرتو، توزیع فضایی پرتو، تغییرات فوکوس در طول محور z |
توضیحات
دستگاه PRIMES MicroSpotMonitor (MSM) ابزاری ایده‌آل برای بررسی، نظارت و تأیید پرتوهای لیزری با فوکوس بسیار دقیق، مانند آن‌هایی که در فرآیندهای ماشین‌کاری میکرو استفاده می‌شوند. این دستگاه به صورت خودکار توزیع فضایی پرتو را در سطوح مختلف در اطراف نقطه فوکوس (در موقعیت‌های مختلف z) اندازه‌گیری و تحلیل می‌کند. پرتو لیزری فوکوس‌شده یکی از عوامل کلیدی در کیفیت نتیجه فرآیند تولید است و در بیشتر کاربردهای ماشین‌کاری لیزری، به عنوان ابزار اصلی عمل می‌کند.
وظیفه MSM، تأیید و نظارت مستمر بر این ابزار لیزری در سیستم‌های کاربردی در حوزه ماشین‌کاری میکرو است. با انجام اندازه‌گیری‌های دوره‌ای، تغییرات در پروفایل پرتو، موقعیت فوکوس یا ابعاد پرتو قابل شناسایی و ثبت می‌شود. این داده‌ها نه تنها به تحلیل عیب‌یابی کمک می‌کنند، بلکه امکان بهینه‌سازی فرآیند در ماشین‌کاری میکرو را فراهم می‌سازند.
امکانات مختلف MSM به کاربران امکان ارائه راه‌حل‌های گسترده‌ای برای حل مشکلات کاربردی می‌دهد. این دستگاه پارامترهای پرتو لیزری را در پرتوهای فوکوس‌شده با توان میانگین تا 200 وات و قطر فوکوس بین 20 میکرومتر تا 1 میلی‌متر، مستقیماً در منطقه فرآیند اندازه‌گیری می‌کند. سیستم کاملاً خنک‌شونده با هوا، پرتو لیزری را با کاهش شدت از طریق آینه‌های تقسیم‌کننده پرتو و فیلترهای شیشه‌ای با چگالی خنثی، بر روی سنسور CCD تصویر می‌کند.
موقعیت پرتو و شعاع آن از توزیع پرتو در سطحی که به دست آمده است، محاسبه می‌شود. با استفاده از محور z داخلی و اندازه‌گیری در موقعیت‌های مختلف، پارامترهای مورد نظر پرتو به دقت تعیین و ثبت می‌شوند.